99.9% スパッタクロムターゲット

クロムターゲットは、クロム金属 (Cr) と同じ特性を持っています。クロムターゲットは、鋼鉄のような灰色で、光沢があり、硬くて脆い遷移金属です。真空中では、クロムターゲットは比較的安定したクロムイオンビームを生成できるため、基板や表面コーティングを作成して基板を保護したり、高い耐酸化性が求められる工業用部品を製造したりするのに役立ちます。クロムターゲットは、クロム化合物の化学量論比を研究するためにも使用できます。

 

クロムターゲット調製技術

粒子サイズ 60-320 メッシュと 320-500 メッシュの金属クロム粉末を均一に混合し、乾燥させて置いておきました。粒子サイズ 60-320 メッシュと 320-500 メッシュの金属クロム粉末の質量比は 5:3 と 9:2 でした。

混合された金属クロム粉末を冷間プレス金型に加え、700Mpa-100Mpaの圧力で冷間プレスし、圧力を1s-120s保ち、必要なサイズの固体円筒形のクロムターゲットブランクにプレスします。

クロムターゲットブランクの表面をコート紙でコーティングし、ホットプレス金型に入れて炉に入れます。

0-15pa まで真空引きし、300 度 -400 まで加熱し、10 分 -30min 保持し、さらに 600 度 -800 まで加熱し、加熱を停止し、ホットプレス設備を起動し、ポジティブホットプレス設備の上部と下部のインヘッドを予熱し、8Mpa-12Mpa の圧力でクロムターゲットブランクを 60 秒 -90 秒間プレスします。ホットプレス設備を閉じ、さらに 1300 度 -1600 まで加熱し、30 分 -120min 保持します。ホットプレス設備を再度起動し、20Mpa-10Mpa の圧力でホットプレスし、1 分 -10min 圧力を保持し、100 度まで冷却してから、クロムターゲットを取得します。

この製造方法は、プロセスが簡単で、操作が便利で、環境に優しく、製品の収率が高く、工業生産に適しているなどの利点があります。上記は、平均粒子サイズが100um以下のクロムターゲットの典型的なマイクロ冶金検出画像です。

 

Chrome ターゲット アプリケーション

クロムターゲットは自動車業界で幅広い用途があります。ホイールやバンパーに明るいコーティングを形成するために、クロムターゲットは優れた材料です。自動車のガラスコーティングなど、クロムスパッタリングターゲットも使用できます。

クロムは耐食性が高いため、クロムターゲットは耐食性コーティングを得るのに適しています。

産業界では、クロムターゲットによって得られる硬質材料コーティングが、ピストンリングなどのエンジン部品を早期摩耗から最適に保護し、重要なエンジン部品の耐用年数を延ばします。

クロムターゲットは、太陽電池の製造やバッテリーの製造にも使用できます。

つまり、クロムスパッタリングターゲットは、電子部品、ディスプレイ、ツールの物理蒸着膜や機能性コーティング（PVD法）、時計、家電部品、油圧シリンダー、スライドバルブ、ピストンロッド、色ガラス、鏡、自動車部品や付属品、その他の機械や装置の真空クロムメッキなど、多くの分野で使用されています。

その他の用途のクロム金属

金属クロムは主に各種合金の製造原料として使用され、化学工業、自動車、造船、航空、原子炉、軍事産業などの業界で広く使用されています。金属クロムの工業生産は主にテルミットクロム法と電解クロム法の2つの方法を採用しており、製品は薄片またはブロックであり、クロムターゲットは純粋なクロム粉末クロム製品で作られ、表面コーティング改質プロセスの蒸発源としてよく使用され、錠前や金物工具、ランプ、自動車やオートバイの装飾ストリップや車のミラー、浴室の蛇口、機械工具、IT製品のシェルやボタンに広く使用されています。しかし、金属クロムは融点が高く、酸素との親和性が強く、活性が高いという特徴があるため、クロム製品を製造するのが難しいです。

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